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攻坚克难 降本增效 | 中欣晶圆12寸450kg投料晶棒完美问世!
2021.08.28

2021年8月17日17点05分是一个激动人心的时刻,中欣晶圆首根12寸450kg投料晶棒完美问世!该晶棒净重437.7kg,体长2900mm,身长2400mm,良率达到87.6%,相较于之前300kg投料量时的良率提高了4.6个百分点,亦可有效实现降本增效。


中欣晶圆“超重”晶棒的诞生究竟有何优势?


1. 实现工艺提升

在晶棒拉制过程中,投料越多则对工艺、炉台控制精度都会有更高的要求。由于32寸石英坩埚一次性最多能装340kg的多晶硅料,所以投料量增加至450kg必须要采用二次投料技术来实现。自中欣晶圆12寸450kg投料晶棒研发项目成立以来,研发团队在前期8寸二次投料基础之上,根据12寸单晶炉结构设计配套使用的二次投料工装,即石英加料器、加料器小车、法兰盘等部件。顺利完成所有部件组装后,研发小组在空炉情况下进行试用,并最终成功实现公司第一根12寸450kg投料晶棒的拉制,带动工艺提升!未来中欣晶圆12寸450kg投料晶棒将会形成标准化量产。


2. 有效提升产量和良率

大质量晶棒的拉制成功使得中欣晶圆月产量得以提升,与此同时,大质量晶棒长度增加提升了单根晶棒的可利用率,有助于提升12寸硅片的良率和稳定性。


3. 实现降本增效

大质量晶棒在直径相同的情况之下,意味着长度的增加,头料和尾料相应减少,从而能够提升晶棒的可利用率,实现降本增效;另一方面投料量增加,使得在使用同样价格的石英坩埚及辅材的情况下产出增加,节省了石英坩埚和辅材使用量,从而降低成本。