6月17日，中国(上海)国际技术进出口交易会圆满落幕。会上，汉虹12英寸半导体单晶炉凭借其先进的技术荣获国际发明创新展览会金奖。
中国(上海)国际技术进出口交易会(以下简称“上交会”)是经国务院批准，由商务部、科技部、国家知识产权局和上海市政府共同主办，联合国工业发展组织、联合国开发计划署、世界知识产权组织支持，是我国首个集技术展示和交易服务为一体的国家级、国际性、综合性展会，在吸引全球企业发布最新创新成果、促进科技成果转移转化、建设国际创新合作网络等方面发挥了积极作用。汉虹凭借其前沿的半导体装备科技荣获国际发明创新展览会金奖。
汉虹FT-CZ3212型12英寸半导体单晶炉研发创新，实现了国内半导体设备单晶炉制造的突破， 汉虹12英寸半导体单晶炉实现了：
1、低能耗32英寸大尺寸热场，GSim热解析全新热场结构；
2、设计有去除氧化物的真空排气管道，可以自动清除管道内的氧化物；
3、全新气囊密封水平开闭式真空水冷旋板阀，解决阀体内部因受空间影响产生的工艺气体紊乱，造成在此段晶体直径波动大，容易NG的难题；
4、双层水冷套结构，集冷却水和工艺气体吹扫，有效冷却晶棒的同时可以清扫氧化物，提高晶体的质量；
5、液面稳定控制系统，采用德国高精度激光液口距检测反馈控制系统，能精确控制液面到热屏距离在设定距离H±0.5mm，减少液面波动对拉晶的影响；
6、可升降水冷轴提升热屏，采用高精度直性模组；
7、磁场升降采用四轴同步升降系统，升降结构稳定可靠，解决了升降时产生振动和异响问题；
8、一体式自定心重型籽晶夹头，籽晶与夹头间采用一高强度石墨套过渡，石墨套外锥与夹头配合，内锥与籽晶配合，采用锥度连接，自动定心找正，解决了籽晶与夹头咬死问题。
通过创新，使得12英寸单晶炉设计走在国内半导体设备的前列。
