中欣晶圆在高端衬底材料领域实现重要突破,自主研发的“8英寸氮化镓外延制备用重掺硼超厚抛光硅片”凭借多项核心工艺创新,成功打破该类型衬底片长期依赖进口的局面,填补了国内相关技术空白。
该产品基于超厚硅片制造、低表面粗糙度控制、金属Cu控制、硅片平整度与曲度控制、分段式涂蜡工艺、特殊硅片背面薄膜生长以及抛光面颗粒控制等关键技术,全面满足客户在外延制备中的高性能需求。
目前,该产品已稳定供应国内多家氮化镓外延及器件制造企业,性能指标对标国际先进水平,获得市场高度认可。基于该衬底开发的氮化镓功率器件已广泛应用于5G/6G通信、激光雷达、新能源汽车、航空航天、国防军工等关键领域。
在9月23日开幕的第25届中国国际工业博览会新材料产业展区中,中欣晶圆携该产品亮相,并荣获本届工博会“CIIF新材料奖”,成为该奖项中唯一获奖的半导体材料企业,进一步彰显了其在高端衬底材料领域的领先实力。
展会期间,中欣晶圆展位吸引了众多政府代表、企业领导及行业专家驻足交流。作为国家高新技术企业,中欣晶圆将持续推进技术创新,助力国产半导体材料产业实现更高水平自主发展。